MATTOX, DONALD M.
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CONTENIDO
CAPÍTULO 1
INTRODUCCIÓN
PROCESO DE DEPOSICIÓN FÍSICA EN FASE VAPOR (PVD)
APLICACIÓN DE RECUBRIMIENTOS EN VACÍO
FACTORES QUE AFECTAN LAS PROPIEDADES DE LAS PELÍCULAS PRODUCIDAS POR LA TÉCNICA PVD
PATENTES y DERECHOS DE AUTOR
PROCESO DE DIAGRAMA DE FLUJO
PROCESO DE DOCUMENTACIÓN
Este texto recoge ydiscute la informaci?n, muchas veces dispersa, sobre una serie de cuestionesrelativas al desarrollo de recubrimientos-capas delgadas, como son losfundamentos f?sicos de las t?cnicas de preparaci?n; sus ventajas einconvenientes para la preparaci?n de un material determinado en forma derecubrimiento-capa delgada; la influencia de los par?metros del proceso dedeposici?n en los mecanismos de crecimiento y par?metros m?s cr?ticos acontrolar; la influencia de los mecanismos de crecimiento en las propiedadesmicrosc?picas de las capas delgadas (composici?n, morfolog?a, estructura,etc.); el efecto del substrato en las propiedades de crecimiento, y lasaplicaciones m?s importantes de los recubrimientos-capas delgadas. Loscap?tulos, subdivididos en gu?as, se desarrollan en torno a cuatro tem?ticas.Inicialmente se describen los aspectos m?s generales relacionados con last?cnicas de vac?o utilizadas en la deposici?n de capas delgadas, y losfundamentos de las descargas el?ctricas en gases, introduciendo el concepto deplasma, recurrente tanto en las t?cnicas de deposici?n como en lacaracterizaci?n de las capas. Asimismo, se tratan los mecanismos de formaci?nde pel?culas continuas. Seguidamente se aborda el estudio de las diversast?cnicas de deposici?n, iniciando con las t?cnicas de vapor, f?sicas yqu?micas, y los par?metros que determinan el crecimiento. La tercera tem?ticatiene que ver con las t?cnicas de caracterizaci?n m?s comunes utilizadas en elestudio de las propiedades de las capas delgadas, las cuales se utilizantambi?n en el estudio de los materiales masivos, que plantea a su vez otrosproblemas no tratados aqu?. Especial atenci?n merecen las t?cnicasf?sico-qu?micas de caracterizaci?n estructural, ya que constituyen herramientasb?sicas para la investigaci?n de los materiales en capas delgadas. Finalmente,se resume un amplio abanico de aplicaciones de los recubrimientos-capasdelgadas en diferentes sectores de la tecnolog?a: mec?nico, qu?mico, el?ctricoy electr?nico, magn?tico y ?ptico.
Este texto recoge y discute la información sobre una serie de cuestiones relativas al desarrollo de recubrimientos-capas delgadas, como son los fundamentos físicos de las técnicas de preparación; la influencia de los parámetros del proceso de deposición en los mecanismos de crecimiento y parámetros más críticos a controlar; la influencia de los mecanismos de crecimiento en las propiedades microscópicas de las capas delgadas; el efecto del substrato en las propiedades de crecimiento, y las aplicaciones más importantes de los recubrimientos-capas delgadas.
